用于PLC封装及对准的低成本、紧凑、高精度和可操作的手动对准机 申玛科技仪器公司开发了用于平面光波电路(PLC)制造的新一代手动和自动对准器。 该产品线具有经济高效、高精度的运动控制能力和紧凑的机械设计。
优势:商标技术-5 Rs
真正的 6 个自由度平移(X-Y-Z 轴) | |
组件 |
Newport VP-25XA or VP-25XL |
行程范围(mm) |
XYZ: 25mm |
分辨率(μm) |
0.1 (VP-25XA), 0.05 (VP-25XL) |
双向重复性(μm) |
0.15 |
轴上精度(μm) |
1 |
最大(mm/s) |
25 |
旋转(PitchθX-YawθY-RollθZ axis) | |
组件 |
Newport CMA-PP or TRA-PPD |
行程范围(mm) |
θX:6mm, θY:6mm, θZ:12mm (±3°) |
分辨率(μm) |
0.3 (CMA-PP), 0.1 (TRA-PPDL) |
双向重复性(μm) |
2 |
最大(mm/s) |
0.4 |
模具 | |
(专利申请中)触摸传感器嵌入式通用光纤阵列支架×2 | |
(专利申请中)触摸传感器精度(μm)< 2 | |
通用1×N分流器支架(1×2 to 1×64)×1 | |
真空 AWG 支架 × 1 | |
视角 | |
摄像头类型 |
CCD×2, IR Cam×1 for 1st light searching |
灯光 |
软件控制 LED 条形灯 |
机器视角 |
通过 PC Vision Card 进行图像传感 |
图像分辨率 |
<3μm/Pixel(depends on Mag. X of lens) |
位移 |
100mm(按要求) |