用于PLC封装及对准的低成本、紧凑、高精度和可操作的手动对准机 申玛科技仪器公司开发了用于平面光波电路(PLC)制造的新一代手动和自动对准器。 该产品线具有经济高效、高精度的运动控制能力和紧凑的机械设计。
优势:商标技术-5 Rs
真正的 6 个自由度
| 平移(X-Y-Z 轴) | |
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 组件  | 
 Newport VP-25XA or VP-25XL  | 
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 行程范围(mm)  | 
 XYZ: 25mm  | 
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 分辨率(μm)  | 
 0.1 (VP-25XA), 0.05 (VP-25XL)  | 
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 双向重复性(μm)  | 
 0.15  | 
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 轴上精度(μm)  | 
 1  | 
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 最大(mm/s)  | 
 25  | 
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 旋转(PitchθX-YawθY-RollθZ axis)  | |
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 组件  | 
 Newport CMA-PP or TRA-PPD  | 
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 行程范围(mm)  | 
 θX:6mm, θY:6mm, θZ:12mm (±3°)  | 
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 分辨率(μm)  | 
 0.3 (CMA-PP), 0.1 (TRA-PPDL)  | 
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 双向重复性(μm)  | 
 2  | 
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 最大(mm/s)  | 
 0.4  | 
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 模具  | |
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 (专利申请中)触摸传感器嵌入式通用光纤阵列支架×2  | |
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 (专利申请中)触摸传感器精度(μm)< 2  | |
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 通用1×N分流器支架(1×2 to 1×64)×1  | |
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 真空 AWG 支架 × 1  | |
| 视角 | |
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 摄像头类型  | 
 CCD×2, IR Cam×1 for 1st light searching  | 
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 灯光  | 
 软件控制 LED 条形灯  | 
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 机器视角  | 
 通过 PC Vision Card 进行图像传感  | 
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 图像分辨率  | 
 <3μm/Pixel(depends on Mag. X of lens)  | 
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 位移  | 
 100mm(按要求)   |